Nettoyage des pièces de l'équipement de lithographie

Avantages

  •         Délai d'exécution rapide
  •         Des machines de nettoyage automatisées qui garantissent des résultats de nettoyage reproductibles à des prix compétitifs.
  •         Réduction des déchets et de la consommation de fluides (solvants, tensioactifs, eau)
  •         Aucun investissement dans des machines sur le site du client
  •         Des supports et des plateaux propres et sûrs grâce à des contrôles et des réparations intégrés
  •         Logistique et stockage intégrés pour réduire les niveaux de stock des clients

Propriétés

  •         Conductivité de l'eau DI
  •         Particules mécaniques contrôlées par le LPC
  •         Dégazage sous vide 24 h
  •         Analyse des gaz résiduels (RGA) par des moyens analytiques (ICP-MS)