ECD - Enhanced CVD Decontamination

03.11.2015

ECD - Enhanced CVD Decontamination developpé par Cleanpart

Les derniers procédés CVD utilisés dans l'industrie de fabrication des semi-conducteurs sont devenus extrêmement sensible à la contamination et à la géométrie des pièces à l'intérieur des chambres de process.
Après un vaste programme de développement, Cleanpart est maintenant heureux d'annoncer que son ECD (Décontamination CVD améliorée) a été qualifié avec plusieurs clients en pointe technologiquement et dans plusieurs régions du monde.
Nos clients qualifiés indiquent une bien meilleure stabilité du processus,  un "MTBPM" (Mean Time Between Preventive Maintenance: temps moyen entre deux maintenance préventive pour un équipement)amélioré et une durée de vie prolongée des pièces de la chambre de process, conduisant à la haute performance de l'équipement de production et un faible coût de possession.
L' ingénieur Cleanpart Dr. Olivier Marchand explique l' ECD: «Le processus de CVD low-k est extrêmement critique pour un ensemble de pièces en charge de la distribution des gaz dans le réacteur: une fois démontées, les pièces doivent être parfaitement décontaminées sans endommager le matériau ou de la géométrie des pièces. A cet effet, Cleanpart a développé plusieurs combinaisons de procédés innovants pour décontaminer complètement les pièces tout en garantissant leur parfaite intégrité,  pour divers processus clients (SiOC, SiCN, ...) "

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